普通状况下,爆炸事故在真空泵应用中是很少见的,但是在某些状况下仍应留意该类状况的发作, 如在(或接近)高化学计量浓度下运用象硅烷(SiH4)这种自燃引火的气体和运用O2、H2混合气体的状况下。这些混合气体对靠容积紧缩排气和靠吸附贮存气体的真空泵,例如关于容积式机械真空泵、分子筛吸附泵和低温吸附泵来说,存在的风险性是非常明显的。

   我们必需留意,在普通的油封式机械真空泵中,假如没有采取维护措施或恰当的操作工艺,运用这些气体的潜在风险性就会更大。发作事故的缘由很简单, 即泵腔的紧缩升温,使风险气体密度和温度升高超越允许值,发作爆炸;或像SiH4一类气体,假如在普通机械泵油中的溶解度足够高,在泵的油箱中即能到达发作爆炸的浓度。假若在这种状况下真空泵发作爆炸,使铸造的泵体或油箱崩裂而飞出的碎片就会对操作人员形成严重的伤害。预防的办法是在被抽气体进入机械真空泵前使气体完整降温,比方运用一个简单的热交流器即可。预防氢气爆炸风险的措施是:在氢气进入紧缩抽气系统前使其降温,并将氢气气体的浓度(能够采用掺入惰性气体的办法)减低到风险浓度以下。

   其次应保证真空系统中的水冷却系统正常工作(压力、流量),而且不产生走漏。一切的冷却回路必需能接受正常的工作水压所产生的压力(应具有恰当的平安系数)。在真空系统的工作中,系统内一切安装的冷却回路的冷却剂入口和出口必需保证畅通而无阻塞现象,这个问题应该采用对冷却剂流量(而不是对压力) 停止监控的联锁安装来处理。

系统中的一切玻璃部位,包括玻璃察看窗,必需维护其不受撞击,假若玻璃破碎,工作人员不能遭到玻璃飞片的碰伤。关于可能发作

这种不测状况的部位,普遍的做法是采用粗网格钟罩式的防爆屏障。