真空安装在制造过程中，零件外表不可防止地会沾上油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物，同时，污染物在大气压下吸附了大量的气体，在真空环境中，这些气体被释放出来，构成了限制真空设备极限真空的要素。

真空安装在运用过程中，受运用条件的影响，零件还会遭到污染，如真空枯燥系统，经常会遭到蒸发物质的污染；真空镀膜机的内壁会被蒸镀资料污染；离子束刻蚀设备的内壁会被溅射物污染；真空中电子枪的灯丝，由于高温蒸发会使其左近外表构成金属膜；真空系统中的机械泵油和扩散泵油更是污染源，会使设备在长期工作后内部构成油膜。这些污染同样会影响设备的性能。

在各类真空工艺消费中，例如，电真空工艺、真空镀膜工艺、真空焊接工艺等都非常注重真空卫生问题。在电真空工艺中，请求装配到高真空环境中的零件，事前都必需停止认真清洗，否则各种污染物可成为大量气体和蒸汽的来源，会延长真空器件的排气时间，不易取得高真空。在真空镀膜技术中，基片（衬底）外表的清洁处置也非常重要，暴露于大气中的衬底外表普遍遭到污染，吸附现象、化学反响、浸析和枯燥、机械处置以及扩散和离析过程都会使各种成份的外表污染物增加。基片外表在镀膜之前必需是清洁的，否则镀层与外表将不能很好地粘附。

环境污染对真空卫生影响很大，环境污染物来自空气、地板、墙壁、天花板、工作服的灰尘及棉绒等。为此，真空器件的一些特殊零部件的消费，都请求在清洁室或超干净室里停止。在电子管制造中，管子装架和零件处置必需在封锁良好的干净室里停止，空气必需经过两极或多极过滤，相对湿度坚持在5 0 % 以下。真空卫生触及到真空系统的各个方面，触及到真空安装自身及其对四周环境的请求。这是一个值得注重的问题。

真空室污染物的几品种型

（1）油脂：加工、装置和操作过程中感染的光滑剂、真空油脂等；

（2）水滴：操作过程中的手汗、吹玻璃时的唾液等；

（3）外表氧化物：易氧化资料长期暴露或放置在湿润大气中所构成的外表氧化物；

（4）酸、碱、盐类物质：清洁后的剩余物质、手汗、自来水中的矿物质等；

（5）空气中的尘埃及其它有机物。