油扩散喷射泵又称油增压泵，它是由油扩散泵发展而来的。油扩散喷射泵的工作压力范围为10~10-2Pa，在此工作压力范围内油扩

散喷射泵有较高的抽速和最大出口压力。通常油扩散喷射泵要比油扩散泵的抽气量高4-20倍，加热功率高2-5倍。按其工作压力范

围来说，油扩散喷射泵正好填补了油封式机械泵和高真空油扩散泵抽气能力下降的中间地带。油封式机械泵的抽速在低压力范围

内有明显的降低，在10-1Pa时实际上抽速为零；而大多数的高真空油扩散泵在这样的压力范围内抽速也较小。然而在1-10-1Pa的

工作压力范围内，油扩散喷射泵恰好有较大的抽速。因此，油扩散喷射泵除用作主泵外，还可以用到大型油扩散泵的出口处，来

增加其出口压力，使前级机械泵能有效地工作，故称其为油增压泵。油扩散喷射泵与油扩散泵相比，不同点仅在于性能曲线的有

效工作范围不同而已。虽然两者的结构和应用有所不同，但抽气的基本原理没有多大的区别。油扩散喷射泵的外壳（泵体和锅炉

）是用碳钢制造的。喷嘴导流系统的零件多用铝来制造。水冷却系统，小型泵用螺旋管焊在泵壳上；大型泵则大多数采用水冷套

型式，以达到好的冷却效果。泵的加热器有两种型式：一种是裸露式的，另一种是封闭式的。

油扩散喷射泵目前广泛用于真空感应炉和真空电弧炉、电容器的真空干燥、真空蒸馏等设备上。