用于真空泵的泵工作液必须在运动的表面之间起真空密封的作用和在轴承和滑动裹面起润滑作用。此外，它还起着把热量从轴承

传递到泵体表面或冷却套的作用。要起到真空密封作用，泵液必须具有低的蒸气压，而且其粘度要使之足以能坟充于运动表面之

间的游隙内而形成薄膜。某一类泵掖中，燕汽压通常是与枯度成反比的。泵液的润滑性能取决于它润湿金属表面的能力和形成一

个剪切强度足以支持所受载荷的薄膜，适合这种用途的最好的泵液之一是经过分馏而造成分一量或粘度范围都相当狭窄的碳组化

合物的矿物油。这种泵液比配方中分子量或粘度范围宽的或轻重馏分混合的真空泵泵液来得优越。重馏分最终会形成焦油沉积物

，而轻馏分会提高燕汽压。某一特定的泵所要求泵液的枯度取决于运动部件之间的游隙、转速和泵的工作温度。

碳氢化合物油对某些应用是根本不能用的，因为它会同某些气体起反应。一种应用是抽纯氧。在抽纯氧时应采取特殊的防范措施

，因为一定量的氧和碳氢化合物蒸汽的混合在真空泵内是爆炸性的。对于那些使用调节器和漏气阀供纯氧的任何真空系级 }即使

充入的气量只能使高真空室压强升高到10-2Pa范围也应采取包括更换泵液和改善泵设计在内的防范措施。阀门或调节器一出故障

，就可能会因真空室被氧气充到大气压而引起爆炸。象反应溅射、辉光放电清洗、或氧化物蒸发这类需甩氧气的系统都属于这种

范畴。这类应用中适当的泵液的使用许多工厂由安全部门代管。一台泵，尤其是新泵作这种应用时，应该在工厂制造时就有所考

虑。改进措施包括:去油脂、更换全部浸油轴承、更换全部禁用的弹性密封件，用无爆炸危险的泵液代替碳氢化合物油。能用于抽

氧或抽腐蚀性气体的合成的泵液要选抖与〔艺用气体和合成的泵液不起反应的密封材料，其确切的办法将同泵液有关。

适用于这类应用的某些安全的泵液，其枯度往往比碳氢化合物油类的高，所以必须加大旋片泵运动零件之间的游隙。磷酸醋在泵

工作时会同水蒸汽缓慢地起反应。这种反应使得泵的本底压强随时间升高，从而需要比用碳氢化合物泵油时更频繁地更换。磷酸

酷和聚硅烷的燃点比碳氢化合物高，但不如抓氟烃或氟烃类工作掖安全。虽然后两种泵液的价格要比别的泵液来得贵，但它们却

更安全。用抓或硫配制以形成一种极化分子的硅氧烷，会同表面相结合而形成润滑膊。它们不象碳氢化合物油类那样好用，某些

硅氧烷泵液的使用者曾报道过在真空泵中发生轴承卡死的间题。